Cơ chế đánh thủng khác nhau ở chất rắn, chất lỏng và khí. Sự cố bị ảnh hưởng bởi vật liệu điện cực, đường cong đặc tính của vật liệu dẫn điện (dẫn đến điện trường tăng cường cục bộ), kích thước của khe hở giữa các điện cực và mật độ của vật liệu trong khe hở.

Rắn

Trong các vật liệu rắn (chẳng hạn như trong cáp điện), phóng điện cục bộ trong thời gian dài thường xảy ra trước sự đánh thủng, làm suy giảm chất cách điện và kim loại gần khe hở điện áp nhất. Cuối cùng, một dòng các hạt mang điện tràn qua gây ra hiện tượng phóng điện cục bộ dẫn dòng điện qua khe hở.